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EVG6200 NT掩模對(duì)準(zhǔn)光刻系統(tǒng)
FR-Mic：全自動(dòng)帶顯微鏡多點(diǎn)測(cè)量膜厚儀
FR-pRo：Thetametrisis膜厚測(cè)量?jī)x
Daeil DVIA-T 系列臺(tái)式主動(dòng)隔振臺(tái)
Herz TS-150高精度主動(dòng)減振平臺(tái)
電鏡隔振臺(tái)
Herz AVI系列主動(dòng)式防震臺(tái)
Herz 氣浮式被動(dòng)隔振臺(tái)
FSM128 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備 500TC和900TC
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唐女士-華南、西南