在3D空間的6個自由度中主動式隔振 從0.7 Hz 到100 Hz
在21世紀納米技術(shù)(即先進的半導(dǎo)體代表相關(guān)的信息技術(shù),基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù),原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn)), 振動、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑制因素。
在納米技術(shù)中,為了獲得可靠的結(jié)果,使用充氣被動隔振臺無法隔離低頻振動,此時需要主動隔離。
先進的主動式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將作為21世紀納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。
裝載設(shè)備:
掃描電子顯微鏡,如 AFM 3D表面分析儀,激光顯微鏡,激光干涉儀,液體表面張力測量系統(tǒng),顯微硬度測量儀,醫(yī)療檢測設(shè)備等。
特點:
◎在全部的6個自由度范圍內(nèi),從0.7Hz到100Hz,TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動隔振性能。
◎當(dāng)儀器裝載時,高度調(diào)整會自動進行。
◎即使當(dāng)負載偏離中心時,自動調(diào)平功能也能保持水準。當(dāng)高重心的儀器被加載時,給予穩(wěn)定性。
◎通過按下前方的按鈕,系統(tǒng)可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統(tǒng)重新加載或傳輸中發(fā)生損壞。
◎前方的顯示屏展示了在X,Y和Z方向的實際振動水平。
◎主動隔振也可以通過使用可選的遠程控制箱來從外部啟用或禁用。(單獨出售) 有關(guān)詳情,請與我們聯(lián)系。
TS應(yīng)用案例
Herz系列產(chǎn)品創(chuàng)建穩(wěn)定的測量環(huán)境
支持改善TS的隔振性能
主動式隔振系統(tǒng)控制水平和垂直方向20μm的振動振幅。如果工作臺或桌面不夠堅硬,TS系列產(chǎn)品的隔振性能將會降低,或者振動會放大。我們提供具有內(nèi)置阻尼功能的剛性框架,以實現(xiàn)TS系列產(chǎn)品的理想性能。
帶有鉆孔和螺紋孔的安裝板
此安裝板由磁鐵不銹鋼和鋁制成。定制的鉆孔位置可以根據(jù)要求提供。
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