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晶圓幾何形貌及參數(shù)自動(dòng)檢測機(jī)
Subnano 輪廓儀
Profilm 3DFilmetrics 3D光學(xué)輪廓儀
QuickPRO-CUBE非接觸式雙表面輪廓儀
QuickPRO-3D--表面輪廓儀
QuickPRO-RPS--旋轉(zhuǎn)剖面儀
RTEC 白光干涉儀+共聚焦一體機(jī)
PLS-F1002 ：晶圓幾何形貌及參數(shù)自動(dòng)檢測機(jī)
PLS-F1000：晶圓幾何形貌測量及參數(shù)自動(dòng)檢測機(jī)
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滬公網(wǎng)安備 31011502016664號(hào)
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唐女士-華南、西南