岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測量儀F60-t-EXR膜厚儀的訂單（2013.1.5）

       岱美中國拿到Filmetrics膜厚測量儀F60-t-EXR的訂單?？蛻魹閲鴥?nèi)杰出半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)，成立于1997年10月，現(xiàn)有員工5500多人，于2007年8月16日在深圳證券交易所上市。作為國 家高新技術(shù)企業(yè)、中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)副理事長單位、科技部中國集成電路封測產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)聯(lián) 盟常務(wù)副理事長單位，始終站在行業(yè)科技發(fā)展前沿，堅(jiān)持以科技促發(fā)展。公司設(shè)有博士后工作站、省級(jí)技術(shù)中心和工程技術(shù)研究中心，在行業(yè)內(nèi)率先通過ISO9001、ISO14001及 ISO/TS16949三項(xiàng)國際管理體系認(rèn)證。多年來，公司先后承擔(dān)并完成了多項(xiàng)專 利、省級(jí)技術(shù)改造項(xiàng)目，有力推動(dòng)了我國先進(jìn)封裝測試技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化。2009年，公司承擔(dān)實(shí)施了“十一五”國 家科技重大專項(xiàng)“先進(jìn)封裝工藝開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”、“關(guān)鍵封測設(shè)備、材料應(yīng)用工程”兩個(gè)項(xiàng)目。專項(xiàng)實(shí)施以來，取得了豐碩技術(shù)成果，成功開發(fā)的WLCSP、BGA、BUMP、高可靠汽車電子等產(chǎn)品和技術(shù)國內(nèi)優(yōu)越。F60-EXR主要被用于半導(dǎo)體工藝中厚膠（10-150um）以及SiO2 etch厚度監(jiān)控。
       F60分為T型（desktop）桌面系列以及C型（cassette）全自動(dòng)圓晶傳輸系列。F60專業(yè)用于工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境，功能包括凹槽自動(dòng)檢測、自動(dòng)基準(zhǔn)確定、全封閉測量平臺(tái)、預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī)。客戶使用的F60-t-EXR設(shè)備波長范圍為3800-1700nm，可檢測膜層厚度范圍在20nm-250um之間，可兼容4，5，6，8，12寸硅片，可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用選取掃描點(diǎn)數(shù)進(jìn)行全圖掃描，具有2點(diǎn)/秒的快 速測量速度。

       （該系統(tǒng)以于2012年12月交付，安裝和和驗(yàn)收）