FR-InLine：在線薄膜厚度測量儀

1、簡述

FR-InLine 是一款模塊化可擴展的在線薄膜厚度測量儀（膜厚儀），可進行在線非接觸測量 3nm-1mm 厚度范圍內的涂層。

FR-InLine 膜厚儀并可以依據各種不同應用設置多個參數的實時測量，例如：反射率和透射率光譜、厚度、色座標。

FR-InLine 膜厚儀測量軟件可以在標準 Windws 10/11 中執(zhí)行。

2、產品應用

• 透明和半透明涂層

• 眼鏡上的涂層

• 食品工業(yè)

• 光學薄膜

• 包裝

• 粘合劑

• 聚合物

• 可撓式電子和顯示器

• 其他各種工業(yè)……

（聯系我們了解您的應用需求）

3、產品特征

FR-InLine 膜厚儀提供半寬（蕞多 4 通道）和全寬（蕞多 8 通道）3U 機架安裝機箱，可實時測量涂層的薄膜厚度。 FR-InLine 通過標準I/控制埠為啟動/停止/復位功能提供外部觸發(fā)選項。測量數據可立即供其他軟件使用，以進一步調整生產流程。工程師可以輕易完成安裝。

4、附件

FR-InLine 附帶多個附件，例如：

§TCP/IP 通信

§支持任何特定需求長度和配置的反射探頭和光纖

§光學模塊（例如聚焦透鏡、運動支架），以協助探頭安裝在產線上

5、其他特點

提升流程運行時間和產品質量

減少原材料消耗和成本控制

6、FR-InLine 規(guī)格（標準配置）

注：

*1規(guī)格如有變更，恕不另行通知，*2與校正過的光譜橢偏儀和x射線衍射儀的測量結果匹配，*3超過15天平均值的標準偏差平均

值，樣品:硅晶片上1微米Si2，*4標準偏差100次厚度測量結果，樣品:硅晶片上1微米Si2,*515天內每日平均值的2*標準差。樣品:硅片上1微米Si2。