OptoScan?600 光學(xué)粗糙度測(cè)試儀

X/Y 掃描 600x600 (mm) 的面板

OptoScan 600 光學(xué)粗糙度測(cè)試儀應(yīng)用：

整體晶圓快速精確檢查

• 缺陷

• 粗糙度

• 波紋度

• 翹曲

  
  

直線電機(jī) X/Y

700 x 700 (mm)

(Witte) 真空吸盤

帶旋轉(zhuǎn)攝像頭傳感器

扇出型封裝面板 (FOPLP ) 研磨后的模具粗糙度

Ra values 0.15 μm / Disco Machine.

測(cè)量通過拼接 148 次局部區(qū)域掃描（約需 1 小時(shí)）