快速自動(dòng)晶圓宏觀檢測(cè)儀_nSpec Macro

1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Nanotronics 的 nSpec Macro是一種快速自動(dòng)晶圓宏觀檢測(cè)儀，無(wú)論您有多特殊的晶圓檢查要求，我們都能提供一系列解決方案來(lái)讓您獲得快速的結(jié)果。這種緊湊的系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于對(duì)200 mm以下的晶圓進(jìn)行高通量宏觀檢查。以毫米為單位，nSpec Macro可以自動(dòng)檢測(cè)并量化從50到100微米的眾多缺陷，這取決于視場(chǎng)或晶圓尺寸。

       nSpec Macro可以照亮樣品的整個(gè)面，或設(shè)置照明角度和/或離散照明矢量。明場(chǎng)，暗場(chǎng)，正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨(dú)配置的LED，配合使用可調(diào)節(jié)照明的強(qiáng)度，顏色和位置。
       該系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)導(dǎo)出CSV文件，并且與SECS / GEM兼容，也可以根據(jù)客戶要求進(jìn)行定制。
2. 自動(dòng)化晶圓處理功能
       所有Nanotronicsn Spec Macros都裝有滿足行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求的晶圓裝載機(jī)。Nanotronics創(chuàng)造了末端執(zhí)行器，可將整個(gè)單個(gè)晶圓和/或帶有禁區(qū)的晶圓加載進(jìn)去。每個(gè)末端執(zhí)行器都是根據(jù)客戶的需求設(shè)計(jì)的。
3. 控制軟件
       配方易于配置，并可以根據(jù)需要保存?？梢园错樞蜻M(jìn)行多次掃描，并且在照射角度，強(qiáng)度和波長(zhǎng)方面具有完全的靈活性。
4. 系統(tǒng)參數(shù)
        重量：62kg
        尺寸（寬x深x高）：67厘米 x 74厘米 x 65厘米
        蕞小真空要求：20 in.Hg
        電源：110v / 220v，3.5安培
5. 光學(xué)特性
        暗場(chǎng)照明模式照明角度：0度
        傾斜照明模式照明角度：0至80度
        明場(chǎng)照明模式照明角度：90度