如何測(cè)試醫(yī)學(xué)MEMS器件力學(xué)形貌

發(fā)布時(shí)間：2021-01-04

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       MEMS和微結(jié)構(gòu)是非常廣范的醫(yī)學(xué)和生物學(xué)應(yīng)用的關(guān)鍵基礎(chǔ)技術(shù)和橫截面技術(shù)。使用范圍從具有用于快速醫(yī)學(xué)診斷的高頻表面波的芯片實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用到用于助聽(tīng)器的MEMS麥克風(fēng)以及基于微系統(tǒng)技術(shù)的醫(yī)學(xué)成像超聲換能器。
       您可以依靠基于顯微鏡的非接觸式光學(xué)測(cè)量技術(shù)來(lái)確定醫(yī)療MEMS傳感器和執(zhí)行器的表面形貌和動(dòng)態(tài)特性。例如，基于顯微鏡的振動(dòng)測(cè)量還用于從自然到技術(shù)系統(tǒng)的仿生啟發(fā)式“技術(shù)轉(zhuǎn)移”，以測(cè)量昆蟲(chóng)聽(tīng)力的生物力學(xué)。
       一個(gè)實(shí)際的例子：
       在IVUS（血管內(nèi)超聲）和超聲心動(dòng)圖等應(yīng)用中，微加工超聲換能器（pMUT和cMUT）突破了實(shí)時(shí)3D醫(yī)學(xué)成像（超聲）的領(lǐng)域。
       為了表征這些換能器元件的微觀力學(xué)特性，必須在高頻（?10MHz）和高空間分辨率（<1μm）下進(jìn)行測(cè)量。微系統(tǒng)分析儀提供的各種可能性可為pMUT和cMUT開(kāi)發(fā)提供蕞大的精度和零接觸的信息。