岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測量儀F30膜厚儀的訂單（2013.9）

發(fā)布時間：2020-06-29

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       岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測量儀F30的訂單。該客戶是由中國科學(xué)院半導(dǎo)體所、廣東省工業(yè)技術(shù)研究院、廣東省廣晟資產(chǎn)經(jīng)營有限公司等公司組建而成。公司注冊資本為1.3億元人民幣。該公司以中科院半導(dǎo)體研究所為技術(shù)依托，聚集國內(nèi)外上等人才團隊，專注于半導(dǎo)體照明核心裝備—-金屬有機化學(xué)氣相沉積（ＭＯＣＶＤ）的研發(fā)與制造，力爭成為國際上等的ＭＯＣＶＤ裝備制造企業(yè)。
       F30在線膜厚測量儀采用的是波長范圍在380-1050nm的可見光干涉測量，主要應(yīng)用于測量半透明或輕度吸光膜層的沉積速率、厚度、光學(xué)常數(shù)和厚度均勻性等，膜厚測量范圍：15nm-100um，準(zhǔn)確度為1%，可實時監(jiān)控膜層沉積的情況，是一款性價比很高的膜厚測量設(shè)備。（該設(shè)備已于2013年8月份交付客戶使用）
       F30設(shè)備照片：