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岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測量儀F20膜厚儀的訂單（2012.04.23）

發(fā)布時間：2020-06-09

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       岱美中國拿到采購Filmetrics膜厚測量儀F20的訂單。該客戶位于九朝古都河南洛陽市，是目前中國*大的半導(dǎo)體硅材料生產(chǎn)基地之一。該公司創(chuàng)建于1995年12月。主要產(chǎn)品是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路級（IC級）4英寸、5英寸和6英寸硅拋光片。是全球性硅片供應(yīng)商之一。產(chǎn)品主要銷往世界各地。F20儀器主要用于測量拋光及腐蝕硅片上鍍膜SiO2及多晶硅的厚度或者SiO2和多晶硅兩層厚度。
       F20膜厚測量儀采用的是波長范圍在380-1050nm的紫外可見光干涉測量，能夠測量15nm-100um范圍的膜層厚度，精度高達(dá)0.1nm，是一款性價比很高的膜厚測量設(shè)備。
       （系統(tǒng)于2012年7月已交付，安裝和和驗(yàn)收）
F20膜厚儀
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