發(fā)布時(shí)間:2020-05-27
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1. 客戶介紹
日前,岱美中國拿到采購SCHMIT粗糙度測量儀Schmitt TMS-2000WRC的訂單,該客戶是全球十達(dá)半導(dǎo)體晶圓供貨商之一。該客戶的產(chǎn)品主要應(yīng)用于行動(dòng)通信、網(wǎng)絡(luò)科技以及省電節(jié)能的電子消費(fèi)產(chǎn)品,是國內(nèi)**家提供相關(guān)硅晶圓的上游原材料公司。為了使硅片產(chǎn)生一定的電阻率,會(huì)采用氧化鋁、氧化硅對(duì)其表面進(jìn)行微損傷處理,然后再進(jìn)行表面清洗。Schmitt TMS-2000WRC是在上述工序完成后測試硅片表面的粗糙度的,保證工藝要求,并為后續(xù)工序提供高品質(zhì)的原材料。
2. 應(yīng)用
所有物體表面均有一定的粗糙度。當(dāng)光線照射在物體表面時(shí)必然會(huì)發(fā)生反射及散射現(xiàn)象。Schmitt TMS-2000WRC即利用光的反射原理,采用670nm的激光以一定角度照射被測樣品表面,通過檢測反射光及散射光光強(qiáng)通過一定數(shù)學(xué)算法計(jì)算表面粗糙度。該設(shè)備測量范圍為0.2-10,000A。具有0.02A的超高分辨率。在粗糙度測量領(lǐng)域保持優(yōu)越地位。