發(fā)布時間:2020-05-21
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岱美中國拿到Filmetrics膜厚測量儀F50-UV的訂單。該客戶為國內(nèi)研究鐵電薄膜領(lǐng)域的頂尖院校,主要研究BaTiO3,BNT,BLT等材料的特性及生長工藝。F50-UV主要用于研究鐵電薄膜生長工藝,控制5" 硅片上BNT生長均勻性,以及研究一些太陽能領(lǐng)域使用的導電薄膜,如AZO等。
F50系列自動膜厚測量系統(tǒng)是基于F20薄膜厚度測量儀系列的升級版,具有多點測試、自動檢測、檢測速度快、測量精準等優(yōu)點,該款設(shè)備波長范圍為200-1100nm,可檢測膜層厚度范圍在1nm-40um之間,*大可自動測量12寸硅片,可根據(jù)實際應(yīng)用選取掃描點數(shù)進行全圖掃描,具有2點/秒的快速測量速度。
(該系統(tǒng)以于2011年10月交付,安裝和和驗收)