岱美拿到采購Filmetrics薄膜厚度動態(tài)監(jiān)測儀F30的訂單??蛻羰侵锌圃合聦傺芯吭?,是集半導體物理、材料、器件研究及其系統(tǒng)集成應用于一體的綜合性研究所,該單位擁有多個國家重點實驗室。在國際上享有一定聲譽。訂單已于2011年3月份完成。
美國Filmetrics公司生產(chǎn)的F30薄膜厚度動態(tài)監(jiān)測儀主要應用于動態(tài)檢測,可針對樣品的沉積速率、n、k值等實時監(jiān)測,測量精度可以達到1%,動態(tài)可以監(jiān)測100nm以上厚度膜層,客戶可根據(jù)自身需要選擇F30系列不同型號產(chǎn)品。其中F30波段范圍為380-1050nm,F(xiàn)30-NIR波段范圍為950-1700nm,F(xiàn)30-EXR波段范圍為380-1700nm。
客戶方使用F30主要應用于MOCVD上針對藍寶石基底樣品進行膜層厚度動態(tài)監(jiān)測。