岱美拿到采購(gòu)Filmetrics薄膜厚度測(cè)量?jī)xF50-UVX的訂單??蛻?hù)是一家大型中美合資企業(yè),是集科研開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)制造、經(jīng)營(yíng)銷(xiāo)售為一體的專(zhuān)業(yè)SOI晶圓生產(chǎn)企業(yè)。擁有先進(jìn)高新技術(shù),主要致力于生產(chǎn)制造太陽(yáng)能芯片、半導(dǎo)體SOI晶圓產(chǎn)品、外延片材料等產(chǎn)品。訂單已于2010年7月完成。
美國(guó)Filmetrics公司生產(chǎn)的F50-UVX自動(dòng)測(cè)量產(chǎn)品是基于F20薄膜厚度測(cè)量?jī)x系列的升級(jí)版,具有多點(diǎn)測(cè)試、自動(dòng)檢測(cè)、檢測(cè)速度快、測(cè)量精準(zhǔn)等優(yōu)點(diǎn),該款設(shè)備波長(zhǎng)范圍為200-1700nm,可檢測(cè)膜層厚度范圍在3nm-250um之間,*大可自動(dòng)測(cè)量12寸硅片,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用選取掃描點(diǎn)數(shù)進(jìn)行全圖掃描,具有2點(diǎn)/秒的快速測(cè)量速度。