發(fā)布時(shí)間:2011-04-08
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F30-PD-3薄膜厚度動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)儀主要應(yīng)用于動(dòng)態(tài)檢測(cè),可針對(duì)樣品的沉積速率、厚度等實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),測(cè)量精度可以達(dá)到1%,動(dòng)態(tài)可以監(jiān)測(cè)100nm以上厚度膜層。F30-PD-3可以同時(shí)支持多達(dá)3個(gè)探頭,可以在一個(gè)鍍膜腔體中的不同位置進(jìn)行監(jiān)控,也可以同時(shí)監(jiān)控3臺(tái)設(shè)備的生長(zhǎng)情況,性價(jià)比非常高。
(該系統(tǒng)將于2011年1月交付,安裝和和驗(yàn)收)