Microsense位移傳感器

  一、 優(yōu)勢簡介：

  Microsense的高精度電容式位移傳感器具有一般非接觸式儀器所共有的非接觸式特點外，還具有信噪比高，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點。在國內研究所，高等院校、工廠等部門得到廣泛應用，成為科研、教學和生產中一種不可缺少的測試儀器。

  二、 特點：

  1 近距離高精度非接觸式位置測量

  2 可達亞納米級直至皮納米級別分辨率，為世界上所有商用電容傳感器中噪音性能最低品牌

  3 可基于無論是高穩(wěn)定性和線性還是最高測量帶寬而提供多種型號探頭“應用定制化”的優(yōu)化方案。

  4 單一通道或多通道(3U歐洲卡機架安裝標準)可選

  三、 型號簡介：

  1 被動式高精度電容位移傳感器：代表型號：48XX 系列，88XX系列，Mini系列

  被動式電容傳感器為一種非接觸式精密位置傳感器?；谧非笞罴训木€性和穩(wěn)定性而設計，其測量帶寬高達20千赫-專用于伺服系統(tǒng)位置反饋和快速機床伺服應用理念。

  2 主動式高精度電容位移傳感器：代表型號，58XX系列，68XX系列

  -----突破納米分辨率壁壘——實現(xiàn)亞納米分辨率與快速響應-高達100千赫帶寬!

  6810型高分辨率電容式傳感器提供了最先進的位置和位移性能測量。6810是專為“高動態(tài)”測量高速旋轉或振蕩的物體，如精密硬盤驅動主軸電機、精密空氣軸承主軸和機械軸承

  機床主軸。

  主要應用與分辨率要求在1-2nm或更小的跳動測量( run out measurement)，如軸向和徑向NRRO不可重復運行或異步誤差運動(NRRO-non-repeatable run out or asychronous error motion)。

  四、 性能：

  1) 測量距離--± 5 um 到± 2 mm內非接觸式位移測量和尺寸測量的理想選擇

  2) 高測量帶寬(高頻率響應)可選-- 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz and 100 kHz

  3) 適用于任何接地，導電的目標--材料或表面光潔度對精度沒有影響

  4) 高分辨率—可實現(xiàn)亞納米級分辨率，據(jù)傳感器探頭尺寸，帶寬，測量距離共同決定

  5) 5)線性度— 優(yōu)于滿量程測量的0.025%， 據(jù)傳感器探頭尺寸，帶寬，測量距離共同決定