一種MEMS器件可靠性測(cè)試方法

發(fā)布時(shí)間：2020-12-31

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1. 目的
       MEMS器件可靠性測(cè)試的主要目的是測(cè)試MEMS的可靠性和使用壽命。
       MEMS傳感器和執(zhí)行器是許多設(shè)備和系統(tǒng)中的關(guān)鍵功能元件，并且越來(lái)越多地，它們也具有與安全相關(guān)的功能。因此，它們通常必須在具有挑戰(zhàn)性的工作條件下，在整個(gè)系統(tǒng)的整個(gè)使用壽命中保持可靠并得到保證。因此，必須在這些條件下對(duì)新的MEMS組件進(jìn)行驗(yàn)證。真空或氣候測(cè)試室用于模擬壓力負(fù)荷或空氣濕度的影響，并施加機(jī)械激勵(lì)或輻射等刺激。長(zhǎng)時(shí)間的功能穩(wěn)定性已在加速老化測(cè)試中得到驗(yàn)證。
2. 原因
       由于與常規(guī)半導(dǎo)體元件不同，MEMS將移動(dòng)的微機(jī)械組件作為其關(guān)鍵功能元件，因此在可靠性和使用壽命測(cè)試期間，測(cè)量動(dòng)態(tài)機(jī)械系統(tǒng)行為的能力極為重要。業(yè)內(nèi)有相關(guān)的儀器為此提供了所有相關(guān)的測(cè)量模式。高度通用的測(cè)量系統(tǒng)還可以配備具有較大間距的特殊透鏡，以從測(cè)試室內(nèi)測(cè)量靜態(tài)和動(dòng)態(tài)組件的行為。
3. 應(yīng)用實(shí)例
       一個(gè)實(shí)際的例子：真空室內(nèi)MEMS的振動(dòng)測(cè)量。

真空室內(nèi)MEMS的振動(dòng)測(cè)量.jpeg