300mm納米壓印技術(shù)用于大批量增強/混合現(xiàn)實玻璃制造

       EV集團(tuán)（EVG）是面向MEMS，納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場的晶片鍵合機（晶圓鍵合機）和光刻設(shè)備（含納米壓印設(shè)備）的領(lǐng)先供應(yīng)商，今天宣布，它已與全球領(lǐng)先的技術(shù)集團(tuán)之一的肖特（SCHOTT）合作在特種玻璃和玻璃陶瓷領(lǐng)域，證明了300毫米（12英寸）納米壓印光刻技術(shù)（NIL）已準(zhǔn)備好用于制造波導(dǎo)/光的高折射率（HRI）玻璃晶片的大量圖案下一代增強/混合現(xiàn)實（AR / MR）耳機指南。

       此次合作涉及EVG公司專有的SmartNIL ®納米壓印工藝和SCHOTT的RealView?高折射率玻璃晶片，并且將EVG的NILPhotonics內(nèi)開展®在公司的總部設(shè)在奧地利的能力中心。肖特將在9月4日至7日在深圳會議中心舉行的中國國際光電博覽會（CIOE）上展示采用EVG的SmartNIL納米壓印技術(shù)制成圖案的300毫米肖特RealView?玻璃晶圓。

       “擴(kuò)大規(guī)模到300毫米的高折射率玻璃晶圓制造對于實現(xiàn)規(guī)模經(jīng)濟(jì)至關(guān)重要，這是我們的客戶需要滿足當(dāng)今和未來領(lǐng)先的AR / MR設(shè)備不斷增長的市場需求的規(guī)模經(jīng)濟(jì)的關(guān)鍵?！毙ぬ毓驹鰪姮F(xiàn)實技術(shù)負(fù)責(zé)人Ruediger Sprengard?！巴ㄟ^雙方的共同努力，EVG和肖特正在展示當(dāng)今300毫米HRI玻璃制造的設(shè)備和供應(yīng)鏈準(zhǔn)備情況。”

       迄今為止，使用NIL圖案化具有光子學(xué)應(yīng)用結(jié)構(gòu)的玻璃基板的方法僅限于200毫米基板。向AR / MR頭戴式耳機進(jìn)入大眾消費市場和工業(yè)市場的重要一步是向300毫米晶圓加工的過渡。然而，在這些較大的基板上維持高基板質(zhì)量和工藝均勻性是難以控制的，并且需要先進(jìn)的自動化和工藝控制能力。EVG的SmartNIL技術(shù)是解決納米圖案需求的多年研究，開發(fā)和現(xiàn)場經(jīng)驗的結(jié)果，并且經(jīng)過實踐證明，可以輕松地從芯片級樣品尺寸一直擴(kuò)展到大面積基板。去年6月，EVG推出了HERCULES NIL 300 mm（納米壓印設(shè)備），該公司將SmartNIL納米壓印設(shè)備帶入300毫米制造領(lǐng)域，以支持多種設(shè)備和應(yīng)用的生產(chǎn)需求，包括用于AR，MR和虛擬現(xiàn)實（VR）耳機的光學(xué)設(shè)備，以及3D傳感器，生物醫(yī)學(xué)設(shè)備，納米光子學(xué)和等離子體。

       Markus說：“ EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年，為NIL供應(yīng)鏈中的各種合作伙伴和公司提供了一個開放式創(chuàng)新孵化器，以與EVG合作，以縮短創(chuàng)新型光子設(shè)備和應(yīng)用的開發(fā)周期并縮短產(chǎn)品上市時間。” Wimplinger是EV Group的企業(yè)技術(shù)開發(fā)和IP總監(jiān)。“我們很高興與SCHOTT之類的公司合作，展示EVG的NIL解決方案的價值，不僅可以促進(jìn)新技術(shù)和工藝的開發(fā)，還可以加快其進(jìn)入大眾市場的速度。我們正在與SCHOTT進(jìn)行的這項最新工作證明了NIL設(shè)備和工藝的成熟，并為各種令人興奮的基于光子學(xué)的新產(chǎn)品和應(yīng)用的300毫米制造奠定了基礎(chǔ)?！?/span>

       肖特RealView?高折射率玻璃晶圓是領(lǐng)先的AR / MR器件的關(guān)鍵組件，可批量生產(chǎn)。該產(chǎn)品組合提供高達(dá)1.9的折射率，從而使深沉的AR / MR應(yīng)用具有高達(dá)65度的更寬視野。經(jīng)過與AR硬件制造商合作的多年研發(fā)，肖特于2018年推出了第一代SCHOTT RealView?。高端產(chǎn)品上市后僅一年，就贏得了享有盛譽的SID Display Industry Award 2019。

       可以從EVG網(wǎng)站上下載白皮書，詳細(xì)說明EVG的SmartNIL納米壓印技術(shù)對HRI眼鏡和抗蝕劑的好處。

關(guān)于肖特

       肖特是特種玻璃，玻璃陶瓷和相關(guān)高科技材料領(lǐng)域的領(lǐng)先國際技術(shù)集團(tuán)。該公司擁有130多年的經(jīng)驗，是許多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴，包括家用電器，制藥，電子，光學(xué)，生命科學(xué)，汽車和航空行業(yè)。肖特在全球34個國家設(shè)有生產(chǎn)基地和銷售辦事處，業(yè)務(wù)遍及全球。在2017/2018財政年度，集團(tuán)擁有超過15,500名員工，創(chuàng)造了20.8億歐元的銷售額。肖特股份公司的總部位于德國美因茨，由卡爾蔡司基金會全資擁有。這是德國最古老的私人和最大的科學(xué)促進(jìn)基金會之一。作為一家基金會公司，肖特對員工，社會和環(huán)境負(fù)有特殊責(zé)任。

關(guān)于EV集團(tuán)（EVG）

        EV Group（EVG）是制造半導(dǎo)體，微機電系統(tǒng)（MEMS），化合物半導(dǎo)體，功率器件和納米技術(shù)器件（納米壓印設(shè)備）的設(shè)備和工藝解決方案的領(lǐng)先供應(yīng)商。主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合，薄晶圓加工，光刻/納米壓印光刻（NIL）納米壓印設(shè)備和計量設(shè)備，以及光刻膠涂布機，清潔劑和檢查系統(tǒng)。成立于1980年的EV Group服務(wù)于復(fù)雜的全球客戶和合作伙伴網(wǎng)絡(luò)，并為其提供支持。

       SmartNIL ® ，NILPhotonics ® 和EV集團(tuán)徽標(biāo)是EV Group的注冊商標(biāo)，而肖特的RealView?是SCHOTT的注冊商標(biāo)。