發(fā)布時(shí)間:2020-04-23
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近日,世界領(lǐng)先的微機(jī)電系統(tǒng)、納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場(chǎng)晶圓鍵合與光刻設(shè)備供應(yīng)商EVG宣布,中國(guó)領(lǐng)先的晶圓制造商之一上海新傲科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱“新傲”)向其下達(dá)了一份用于硅絕緣體(SOI)和晶片直接鍵合的EVG850自動(dòng)化生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)鍵合機(jī)的后續(xù)訂單。新傲是從上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所(SIMIT)分拆出來(lái)的一家分立單位,多年來(lái)一直采用EVG的半自動(dòng)化工具,此后將利用這一EVG系統(tǒng)升級(jí)到全自動(dòng)化的大批量硅絕緣體(SOI)晶片生產(chǎn)模式。
上海新傲科技公司總經(jīng)理張峰博士表示,該公司選擇了全自動(dòng)化的EVG晶圓鍵合系統(tǒng)來(lái)將新傲完善的生產(chǎn)工藝從半自動(dòng)化的EVG工具升級(jí)轉(zhuǎn)換到一個(gè)全自動(dòng)化平臺(tái),比如帶有預(yù)鍵合和IR紅外檢查站的EVG301單晶圓清洗系統(tǒng)。張峰博士說(shuō)道,“我們發(fā)現(xiàn),目前市場(chǎng)上對(duì)SOI(硅絕緣體)晶片的需求正在強(qiáng)勁增長(zhǎng)。EVG850構(gòu)成了SOI鍵合領(lǐng)域事實(shí)上的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),所以我們的客戶盡可放心,我們將繼續(xù)提供最優(yōu)質(zhì)的晶片產(chǎn)品?!?nbsp;
研究與咨詢機(jī)構(gòu)Markets and Markets公司估計(jì),全球SOI(硅絕緣體)市場(chǎng)將以15.3%的復(fù)合年均增長(zhǎng)率增長(zhǎng),到2021年,其規(guī)模將達(dá)到60億美元,這主要是由MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))和用于計(jì)算機(jī)與各種視頻游戲的微處理器等應(yīng)用驅(qū)動(dòng)的。另外,對(duì)于新的制造工廠的投資,以及旨在推出新技術(shù)和擴(kuò)大客戶群規(guī)模的各種研發(fā)活動(dòng)和戰(zhàn)略合作項(xiàng)目,也幫助帶動(dòng)了市場(chǎng)的增長(zhǎng)。
EVG執(zhí)行技術(shù)總監(jiān)保羅·林德納指出,“我們感謝上海新傲科技公司選擇我們具有高產(chǎn)量和高收益率的EVG850鍵合機(jī)系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)其向全自動(dòng)化的大批量SOI晶片生產(chǎn)模式的過(guò)渡。隨著我們繼續(xù)在不斷快速增長(zhǎng)的中國(guó)市場(chǎng)進(jìn)軍,這是EVG實(shí)現(xiàn)的又一個(gè)重要里程碑。此外,從一開(kāi)始,我們就始終處于SOI技術(shù)發(fā)展的最前沿 —— 我們與所有的領(lǐng)先研究機(jī)構(gòu)和SOI發(fā)明者以及每家早期采納者都有合作。今天,世界上所有的SOI晶片制造商都依靠EVG的設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn);EVG設(shè)備在促進(jìn)大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)中的SOI技術(shù)實(shí)施方面一直都是主要的推動(dòng)因素?!?岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司作為EVG中國(guó)區(qū)的代理商,為該用戶提供了無(wú)微不至的技術(shù)服務(wù)。
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